日前，由上海电气集团股份有限公司（简称“上海电气”）部属上海微电子配备（集团）股份有限公司自主研发的具有国际领先水平的首台平板显现6代投影曝光机正式发运。这对我国的平板显现制作工业及配备工业高质量开展都有重大意义。
长期以来，我国平板显现制作的中高端设备主要是依托进口，特别是投影曝光机。全球仅日本的尼康公司和佳能公司把握了这一技能。上微6代投影曝光机的成功开发，将完全打破这一现状。
应用于平板显现制作的投影曝光机极为杂乱。该产品需要在1500mm×1850mm的区域内制作只要五十分之一头发直径的线条，且每根线条的方位精度要控制在一百五十分之一头发直径以内。上微用体系工程办理思维和方法来安排推动投影曝光机项目施行，坚持用产品化、工程化思维来进行产品研发，成功突破了投影曝光机的体系多、技能杂乱性强、专利壁垒多等难题，成为全国际第三家具有量产6代投影曝光机才能的公司，有力提升了我国高精密零件制作才能。
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